用于带电粒子束装置的圆柱腔体

摘要

本发明提供一种改进的用于带电粒子束装置的圆柱腔体。这个腔体包括偏向器，该偏向器用于在样本表面扫描粒子束、相对于物镜调准粒子束、补偿由物镜所引起的像差。因此，用于偏向器并且可独立控制的电极配置和/或线圈配置的数目是8个或更少。

主权项

1、一种用于带电粒子束装置的腔体，带电粒子束装置用于检测或改性样本，所述腔体包括：a)提供带电粒子束的粒子源，b)将射束聚焦到样本上的物镜，以及c)偏向器，其用于在样本表面上扫描射束、相对于物镜调准射束并且补偿由于物镜所造成的象差，其中用于偏向器且可以独立控制的电极配置和/或线圈配置的总数为8或更少，由此各偏向器彼此相对旋转使得象差可以在平行于带电粒子束的每一个选择的平面中得到补偿。