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发明名称
INTEGRATED NITRIDE-BASED ACOUSTIC WAVE DEVICES AND METHODS OF FABRICATING INTEGRATED NITRIDE-BASED ACOUSTIC WAVE DEVICES
摘要
申请公布号
EP1599938(A2)
申请公布日期
2005.11.30
申请号
EP20040716159
申请日期
2004.03.01
申请人
CREE, INC.
发明人
SAXLER, ADAM WILLIAM
分类号
H01L27/20;H03H3/08;H03H9/02;H03H9/05;H03H9/145;(IPC1-7):H03H9/02
主分类号
H01L27/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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