发明名称 |
A SUBSTRATE FOR GROWTH OF CHEMICAL COMPOUND SEMICONDUCTOR, A CHEMICAL COMPOUND SEMICONDUCTOR USING THE SUBSTRATE AND A PROCESS FOR PRODUCING THEM |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20050112490(A) |
申请公布日期 |
2005.11.30 |
申请号 |
KR20040075894 |
申请日期 |
2004.09.22 |
申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO., LTD. |
发明人 |
KOMIYAMA JUN;ABE YOSHIHISA;SUZUKI SHUNITI;NAKANISHI HIDEO;KITA TORU |
分类号 |
H01L21/22;C30B25/02;C30B29/06;C30B29/10;C30B29/40;H01L21/20;H01L23/58;H01L29/08;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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