| 发明名称 | 感光性树脂去除用的稀释剂组合物 | ||
| 摘要 | 提供感光性树脂去除用稀释剂组合物，用于液晶显示设备中使用的玻璃基板及半导体制造时所用的晶片的周边和背面部分，短时间内可高效去除附着的没用的感光性树脂。本发明提供感光性树脂去除用稀释剂组合物，其包含a)烷基酰胺；和b)乙酸烷基酯。上述稀释剂组合物优选含有a)烷基酰胺1～99重量份；b)乙酸烷基酯1～80重量份。此外，本发明提供使用上述稀释剂组合物的半导体元件及液晶显示装置的制造方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1702560A | 申请公布日期 | 2005.11.30 |
| 申请号 | CN200510074042.0 | 申请日期 | 2005.05.25 |
| 申请人 | 东进世美肯株式会社 | 发明人 | 尹锡壹;朴熙珍;郑宗铉;金柄郁 |
| 分类号 | G03F7/26;G03F7/42 | 主分类号 | G03F7/26 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁香兰 |
| 主权项 | 1.感光性树脂去除用稀释剂组合物，其含有a)烷基酰胺；及b)乙酸烷基酯。 | ||
| 地址 | 韩国仁川市 | ||