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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING MICRO-GRIPPER ACTUATED BY PIEZOELECTRIC MATERIALS
摘要
申请公布号 KR20050112260(A) 申请公布日期 2005.11.30
申请号 KR20040037196 申请日期 2004.05.25
申请人 KOREA ELECTRONICS TECHNOLOGY INSTITUTE 发明人 KIM, WON HYO;SUNG, WOO KYUNG;PARK, JOON SHIK;KIM, KUN NYUN;PARK, KWANG BUM;SHIN, KYU SIK;MOON, CHAN WOO
分类号 H01L41/08;(IPC1-7):H01L41/08 主分类号 H01L41/08
代理机构 代理人
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