| 发明名称 |
Preventive treatment process for the ring of a multilayer wafer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1599896(A1) |
申请公布日期 |
2005.11.30 |
| 申请号 |
EP20040715980 |
申请日期 |
2004.03.01 |
| 申请人 |
SOITEC |
发明人 |
NEYRET, ERIC;MALLEVILLE, CHRISTOPHE |
| 分类号 |
H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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