发明名称 Semiconductor memory device and manufacturing method thereof
摘要
申请公布号 KR100532437(B1) 申请公布日期 2005.11.30
申请号 KR20030033347 申请日期 2003.05.26
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8242;H01L29/76;H01L29/94;H01L31/119;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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