等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种等离子体处理装置，主要是改进等离子体处理装置内的上电极板的构造。本发明的上电极板包括气体分配板；绝缘盖板，其盖在气体分配板的上部；以及多个固定部，用以固定气体分配板和绝缘盖板。每个固定部包括螺钉和螺帽，螺钉包括一头部和一杆部，且螺钉头部上具有外螺纹。螺帽由绝缘物质构成，每个螺帽的内表面具有与螺钉头部的外螺纹相对应的内螺纹，以便和每个螺钉头部互相啮合。由于螺钉头部有绝缘螺帽所保护，可承受等离子体长时间的轰击，避免电弧放电现象，消除产品缺陷并提高良好率。

主权项

1.一种等离子体处理装置，其包括：一处理腔体；一下电极板，位于所述处理腔体内，其上可放置将要进行等离子体处理的一基板；一气体供应系统，用以供应气体到所述处理腔体内；一上电极板，位于所述处理腔体内、下电极板的上方；以及一电源，用以在所述上、下电极板之间施加电压差，以使所述处理腔体内的气体转变为等离子体；其中所述上电极板包括：一气体分配板，其具有上部和底部，其底部具有多个气孔，所述气孔与所述气体供应系统连通，使得气体可经由所述气孔供应到所述处理腔体内；一绝缘盖板，其盖在所述气体分配板的上部；以及多个固定部，用以固定所述气体分配板和绝缘盖板，每个固定部包括一螺钉和一螺帽，所述螺钉包括一头部和一杆部，且所述螺钉头部上具有外螺纹，所述螺帽由绝缘材料构成，每个螺帽的内表面具有与所述螺钉头部的外螺纹相对应的内螺纹，以便和每个螺钉头部互相啮合。