| 发明名称 | 感应耦合等离子体发生器天线结构 | ||
| 摘要 | 一种感应耦合等离子体发生器天线结构，它使容纳半导体晶片或平面显示器等被加工物的圆形或长方形箱室内部等离子体密度沿着旋转方向对称均匀产生，从而可以有效加工大尺寸-大面积加工物。感应耦合等离子体发生器天线一端形成施加无线电频率RF电源的带电端，另一端具有接地的接地端，其中上述天线并联电连接至少2个环型天线(10、20)；每个天线(10、20)的带电端P、接地端G以天线(10、20)中心为准分布在对称位置；每个天线(10、20)的带电端P、接地端G分布在箱室远处，每个天线(10、20)的中间部分(10a、20a)位于箱室近处且相互平行交叉设置，使箱室内具有沿着旋转方向的均匀等离子体密度。 | ||
| 申请公布号 | CN1230043C | 申请公布日期 | 2005.11.30 |
| 申请号 | CN02815034.1 | 申请日期 | 2002.07.26 |
| 申请人 | 株式会社普来马特 | 发明人 | 李容官;李相元;严世勳 |
| 分类号 | H05H1/24 | 主分类号 | H05H1/24 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 刘炳胜 |
| 主权项 | 1、一种感应耦合等离子体发生器天线结构，该天线结构的一端形成施加无线电频率RF功率的带电端，另一端接地，其特征在于：至少2个环型天线单元彼此电并联地布置；各天线的带电端和接地端相对于天线中心对称布置；各天线相互交叉设置以便其带电端和接地端设置在远离箱室处，而其中心部分则设置在靠近箱室处。 | ||
| 地址 | 韩国大田广域 | ||