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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING NANOPOROUS DIELECTRIC FILMS AT HIGH PH
摘要
申请公布号 KR100532239(B1) 申请公布日期 2005.11.30
申请号 KR19997009443 申请日期 1999.10.14
申请人 发明人
分类号 C01B33/158;(IPC1-7):C01B33/158 主分类号 C01B33/158
代理机构 代理人
主权项
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