| 发明名称 |
Apparatus and method for insulating a seal in a process chamber. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG116461(A1) |
申请公布日期 |
2005.11.28 |
| 申请号 |
SG20020005046 |
申请日期 |
2002.08.20 |
| 申请人 |
ASML US, INC. |
发明人 |
DAVID ROBINSON;MICHAEL DRAPER;DAVE LOPES |
| 分类号 |
H01L21/22;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/26;H01L21/324;(IPC1-7):F16J13/00;F16J15/00;B65D43/00 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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