| 发明名称 |
Method for improving barrier layer adhesion to hdp-fsg hin films. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG116408(A1) |
申请公布日期 |
2005.11.28 |
| 申请号 |
SG20000005009 |
申请日期 |
2000.09.01 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
HICHEM M'SAAD;MANOJ VELLAIKAL;DANA TRIBULA;FARHAD MOGHADAM;SAMEER DESAI |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/40;H01L21/205;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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