| 发明名称 |
Substrate alignment method and apparatus. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG116552(A1) |
申请公布日期 |
2005.11.28 |
| 申请号 |
SG20040003101 |
申请日期 |
2004.06.01 |
| 申请人 |
ASM ASSEMBLY AUTOMATION LTD |
发明人 |
CHENG CHI WAH;BENSON CHONG PING CHUN;ANSON CHAN CHIN PANG |
| 分类号 |
H05K13/08;B23K3/06;H05K13/04;(IPC1-7):B23K31/12 |
主分类号 |
H05K13/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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