发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100530821(B1) 申请公布日期 2005.11.28
申请号 KR20040012074 申请日期 2004.02.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H05H1/46;B01J19/08;C23C16/505;C23C16/54;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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