Sensor und Verfahren zum Herstellen eines Sensors

摘要

Ein Sensor umfasst ein Substrat (100), in dem ein mechanisch verformbarer Bereich (12) gebildet ist. ein erstes megnetostriktives Mehrschicht-Sensorelement (104a) und ein zweites magnetostriktives Mehrschicht-Sensorelement (104b) sind in dem mechanisch verformbaren Bereich gebildet, wobei das erste nagnetostriktive Mehrschicht-Sensorelement (104a) und das zweite magnetostriktive Mehrschicht-Sensorelement (104b) miteinander verschaltet sind und derart ausgebildet sind, dass bei einem Erzeugen einer mechanischen Verformung des mechanisch verformbaren Bereichs (102) sich der elektrische Widerstand des ersten magnetostriktiven Mehrschicht-Sensorelements (104a) gegenläufig zu dem elektrischen Widerstand des zweiten magnetostriktiven Mehrschicht-Sensorelements (104b) ändert oder der elektrische Widerstand des ersten magnetostriktiven Mehrschicht-Sensorelements (104a) unverändert bleibt.