发明名称 POLYMER HAVING SPIRO CYCLIC KETAL PENDANT GROUP FOR PHOTORESIST AND PHOTORESIST COMPOSITION INCLUDING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20050110847(A) 申请公布日期 2005.11.24
申请号 KR20040035791 申请日期 2004.05.20
申请人 DONGJIN SEMICHEM CO., LTD. 发明人 LEE, JAE WOO;KIM, DEOG BAE;KIM, JAE HYUN
分类号 G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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