摘要 |
Die vorliegende Erfindung beschreibt einen mikromechanischen Sensor zur Erfassung wenigstens eines ersten Drucks eines ersten Mediums bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen mikromechanischen Sensors. Dabei ist vorgesehen, dass der mikromechanische Sensor wenigstens ein Substrat mit wenigstens zwei Sensorelementen aus einem vorzugsweise halbleitenden Material aufweist. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass das Substrat wenigstens ein erstes Sensorelement zur Erfassung einer Absolutdruckgröße des ersten Mediums und ein zweites Sensorelement zur Erfassung einer Relativdruckgröße des ersten Mediums aufweist.
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