发明名称 Kombinierter Absolutdruck- und Relativdrucksensor
摘要 Die vorliegende Erfindung beschreibt einen mikromechanischen Sensor zur Erfassung wenigstens eines ersten Drucks eines ersten Mediums bzw. ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen mikromechanischen Sensors. Dabei ist vorgesehen, dass der mikromechanische Sensor wenigstens ein Substrat mit wenigstens zwei Sensorelementen aus einem vorzugsweise halbleitenden Material aufweist. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass das Substrat wenigstens ein erstes Sensorelement zur Erfassung einer Absolutdruckgröße des ersten Mediums und ein zweites Sensorelement zur Erfassung einer Relativdruckgröße des ersten Mediums aufweist.
申请公布号 DE102004021041(A1) 申请公布日期 2005.11.24
申请号 DE200410021041 申请日期 2004.04.29
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 VOSSENBERG, HEINZ-GEORG
分类号 G01L9/00;G01L13/02;G01L13/06;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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