发明名称 Abstimmbarer mikroelektromechanischer Fabry-Perot-Resonator mit einer vom optischen Leistungspegel abhängigen Abstimmung
摘要
申请公布号 DE60107798(T2) 申请公布日期 2005.11.24
申请号 DE20016007798T 申请日期 2001.07.11
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES INC., A DELAWARE CORP. 发明人 TUCKER, RODNEY S.;SORIN, WAYNE V.
分类号 G01J3/26;G02B26/00;G02B26/02;H01S3/08;H01S5/14;(IPC1-7):G01J3/26;G01J9/02;H01S5/068;H01S3/086 主分类号 G01J3/26
代理机构 代理人
主权项
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