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发明名称 Negativer Resistprozess mit simultaner Entwicklung und Aromatisierung von Resiststrukturen
摘要
申请公布号 DE10131487(B4) 申请公布日期 2005.11.24
申请号 DE20011031487 申请日期 2001.06.29
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ROTTSTEGGE, JOERG;KUEHN, EBERHARD;FALK, GERTRUD;SEBALD, MICHAEL
分类号 G03F7/32;G03F7/40;(IPC1-7):G03F7/30 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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