发明名称 Verfahren zur Herstellung druckdichter Durchkontaktierungen
摘要
申请公布号 DE19742072(B4) 申请公布日期 2005.11.24
申请号 DE19971042072 申请日期 1997.09.24
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 MOSER, MANFRED;SEIBOLD, ANNETTE;SCHUETZ, REINER
分类号 H01L21/48;H05K1/03;H05K3/40;(IPC1-7):H05K3/42 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
主权项
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