Verfahren und Vorrichtung zur thermischen Vakuumbeschichtung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur thermischen Vakuumbeschichtung bei kontinuierlichem Transport eines bandförmigen Substrats in einem mit dampfförmigem Beschichtungsmaterial beschickten Bedampfungskanal. Der Erfindung liegt die Aufgabenstellung zugrunde, für die bekannten Beschichtungsverfahren und Beschichtungsvorrichtungen die Möglichkeit eines schnell einsetzbaren Schutzes für das Substrat gegen eine Beschädigung während des Beschichtungsprozesses anzugeben. Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass der Bedampfungskanal bei Unterschreiten einer Mindesttransportgeschwindigkeit oder bei Stillstand des Substrats durch Einschub wenigstens eines lageveränderlichen Hohlkörpers in einen äußeren Raum des Bedampfungskanals und einen inneren Raum des Bedampfungskanals getrennt wird, so dass sich das Substrat im inneren Raum befindet.