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发明名称
摘要
申请公布号 JP2005536048(A) 申请公布日期 2005.11.24
申请号 JP20040528026 申请日期 2003.08.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/06;H01L29/423;H01L29/78;H01L29/788;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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