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发明名称 MICROFABRICATED MINIATURE GRIDS
摘要
申请公布号 CA2605871(A1) 申请公布日期 2005.11.24
申请号 CA20052605871 申请日期 2005.05.06
申请人 STILL WATER SCIENTIFIC INSTRUMENTS;UNIVERSITY OF MAINE 发明人 FREDERICK, BRIAN G.;LEGORE, LAWRENCE J.;COLLINS, SCOTT;SMITH, ROSEMARY
分类号 H01L21/46;H01J9/14;H01J49/06;H01L23/34 主分类号 H01L21/46
代理机构 代理人
主权项
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