发明名称 Fin-Feldeffekttransistor-Anordnung und Verfahren zum Herstellen einer Fin-Feldeffektransistor-Anordnung
摘要 Die Erfindung betrifft eine Fin-Feldeffekttransistor-Anordnung mit einem Substrat, mit einem ersten Fin-Feldeffekttransistor auf und/oder in dem Substrat, der eine Finne aufweist, in welcher der Kanal-Bereich zwischen dem ersten und dem zweiten Source-/Drain-Bereich gebildet ist und über welcher der Gate-Bereich gebildet ist, und mit einem zweiten Fin-Feldeffekttransistor auf und/oder in dem Substrat, der eine Finne aufweist, in welcher der Kanal-Bereich zwischen dem ersten und dem zweiten Source-/Drain-Bereich gebildet ist und über welcher der Gate-Bereich gebildet ist, wobei die Höhe der Finne des ersten Fin-Feldeffekttransistors größer ist als die Höhe der Finne des zweiten Fin-Feldeffekttransistors.
申请公布号 DE102004020593(A1) 申请公布日期 2005.11.24
申请号 DE200410020593 申请日期 2004.04.27
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HOFMANN, FRANZ;LUYKEN, R. JOHANNES;LANDGRAF, ERHARD
分类号 H01L21/84;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78;H01L27/092;H01L21/336 主分类号 H01L21/84
代理机构 代理人
主权项
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