发明名称 Funktionelle dünne Filme und ein Verfahren zu deren Herstellung
摘要
申请公布号 DE19742156(B4) 申请公布日期 2005.11.24
申请号 DE1997142156 申请日期 1997.09.24
申请人 JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY, KAWAGUCHI 发明人 ONDA, MITSUHIKO;LVOV, YURI;ARIGA, KATSUHIKO;KUNITAKE, TOYOKI
分类号 B01J19/00;B05C3/18;B05D1/20;B32B9/00;C07K17/04;C09B67/02;C12N11/00;C12N11/04;H01L51/50;H05B33/10;(IPC1-7):C09K3/00;C07K17/00;C09K11/06;C12N11/08;C12N11/14;B05D1/18;B05D1/36;C08J5/18 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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