| 摘要 |
Ein bekanntes Verfahren zur Herstellung eines Hohlzylinders aus synthetischem Quarzglas erfolgt durch Flammenhydrolyse einer siliziumhaltigen Verbindung und schichtweises Abscheiden von SiO¶2¶-Partikeln auf einem rotierenden Träger, wobei ein langgestreckter poröser Sootkörper mit zentraler Innenbohrung hergestellt wird. Dieser wird einer Dehydratationsbehandlung unterzogen und danach in einem Verglasungsofen in vertikaler Ausrichtung gesintert, wobei er in dem Verglasungsofen mittels einer Haltevorrichtung gehalten wird, die einen in die Innenbohrung des Sootkörpers hineinragenden langgestreckten, Graphit enthaltenden Haltekörper umfasst, auf den der Sootkörper unter Bildung des Quarzglasrohres aufkollabiert. Um hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, das einerseits Kontaminationen des Quarzglasrohres vermeidet und das andererseits in Bezug auf die Standzeit der Haltevorrichtung und den Kostenaufwand für ihre Herstellung optimiert ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass ein Haltekörper eingesetzt wird, der eine Oberflächenschicht aus beta-SiC aufweist, und dass die SiC-Oberflächenschicht vor dem Aufkollabieren des Sootkörpers bei hoher Temperatur einer Passivierungsatmosphäre ausgesetzt wird, die mindestens eine der Substanzen NO, HCl, Cl¶2¶ oder CO enthält.
|
