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发明名称 Ankoppelungsvorrichtung und System für Substrate
摘要
申请公布号 DE19581789(B4) 申请公布日期 2005.11.24
申请号 DE1995181789 申请日期 1995.10.10
申请人 ENTEGRIS CAYMAN LTD., CHASKA 发明人 BABBS, DANIEL A.;SHULTZ, RICHARD E.;STRIEN, JOHN VAN
分类号 B65D85/86;H01L21/02;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):B65D85/00;B65G49/05;H01L21/68 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
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