发明名称 A METHOD OF ILLUMINATING A PHOTOMASK USING CHEVRON ILLUMINATION
摘要
申请公布号 EP1315996(A4) 申请公布日期 2005.11.23
申请号 EP20010958877 申请日期 2001.07.06
申请人 ASM LITHOGRAPHY 发明人 SMITH, BRUCE, W.
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20;G03B27/72 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址