发明名称 | 电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳 | ||
摘要 | 本发明涉及一种电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳。包它括微致动机构和微夹持机构,所述的微致动机构和微夹持机构是由一个竖直长方形基底上淀积多晶硅结构层所构成的两个多晶硅微机械机构;所述的微致动机构为电热致动机构。本发明的整体体积较小,可与集成电路制作工艺相兼容;具有较大的驱动力,能够保证微夹钳工作时具有持续、稳定的夹持力。本发明在医疗卫生机械、生物科技仪器领域中,具有较大的应用前景。 | ||
申请公布号 | CN1699140A | 申请公布日期 | 2005.11.23 |
申请号 | CN200510027270.2 | 申请日期 | 2005.06.29 |
申请人 | 上海大学 | 发明人 | 张永宇;陈晓阳 |
分类号 | B81B5/00;H02N10/00 | 主分类号 | B81B5/00 |
代理机构 | 上海上大专利事务所 | 代理人 | 何文欣 |
主权项 | 1.一种电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳,包括微致动机构(2)和微夹持机构(1),其特征在所述的微致动机构(2)和微夹持机构(1)是由一个竖直长方形基底(7)上淀积多晶硅结构层所构成的两个多晶硅微机械机构;所述的微致动机构(2)为电热致动机构。 | ||
地址 | 200444上海市宝山区上大路99号 |