基于特定应用事件的半导体测试系统

摘要

用于测试半导体设备的半导体测试系统，尤其是具有在主机架内的多个不同类型的测试器模块和在测试固定装置内对于被测器件是唯一的测量模块的半导体测试系统，是一种低费用、应用特定的系统。该测试系统包括两个或更多其性能彼此不同的测试器模块，用于容纳两个或更多测试器组合的主机架，设置在机架上电气连接测试器和被测器件的测试固定装置以及在测试固定装置内用于转换被测器件与测试器间信号的测量设备以及一个控制系统整体运行的主机。

主权项

1、一种半导体测试系统，包括：两个或多个其性能彼此相同或不同的测试器模块，每个测试器模块利用以基于事件格式描述的测试数据运行，在这种格式中，一个事件是由其定时所定义的测试模式中的变换点；用于容纳其中的任意组合的测试器模块的测试系统主机架；操作板，具有一个用于将待测设备安装于其上的测试槽；设置在该测试系统主机架上且用多个弹性连接器形成的测试固定装置，用于电气地连接该测试器模块和所述操作板；设置在该测试固定装置内的测量模块，用于转换被测器件与所述多个测试器模块之间的信号、或在被测器件与所述多个测试器模块之间提供接口；以及主机计算机，通过一个测试器总线与该测试系统内的测试器模块进行通信来用于控制该测试系统的整体运行。