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发明名称 METHOD FOR PRODUCING A PATTERN SUITABLE FOR FORMING SUB-MICRON WIDTH METAL LINES
摘要
申请公布号 EP1166182(B1) 申请公布日期 2005.11.23
申请号 EP20000907663 申请日期 2000.03.03
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 REDD, RANDY, D.;DAMMEL, RALPH, R.;SAGAN, JOHN, P.;SPAK, MARK, A.
分类号 G03F7/039;G03F7/16;G03F7/26;G03F7/32;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):G03F7/32 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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