发明名称 | 光刻胶成膜树脂制备中的聚合物选择水解方法 | ||
摘要 | 一种光刻胶成膜树脂制备中的聚合物选择水解方法,采用聚对乙酰氧基苯乙烯及其共聚物为原料,以醇、醚、烃类溶剂为介质,在20~150℃温度范围内,在催化剂帮助下进行选择水解反应,来制备聚对羟基苯乙烯及其共聚物,其特征在于:催化剂为高分子催化剂或高分子载体催化剂;所述高分子催化剂为聚苯乙烯磺酸型强酸性离子交换树脂或季胺碱型强碱性离子交换树脂;所述高分子载体催化剂为高分子载体路易斯酸(Lewis酸)催化剂。本发明采用合适有效的催化剂通过选择性水解或醇解反应,来制备光刻胶成膜树脂——聚对羟基苯乙烯及其共聚物,其特点是工艺简单、转化率可达98%以上、选择性,从而达到更好的效果。 | ||
申请公布号 | CN1699431A | 申请公布日期 | 2005.11.23 |
申请号 | CN200510040392.5 | 申请日期 | 2005.06.03 |
申请人 | 苏州华飞微电子材料有限公司 | 发明人 | 冉瑞成;沈吉;褚晟 |
分类号 | C08F8/12;G03F7/00 | 主分类号 | C08F8/12 |
代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 马明渡 |
主权项 | 1、一种光刻胶成膜树脂制备中的聚合物选择水解方法,采用聚对乙酰氧基苯乙烯及其共聚物为原料,以醇、醚、烃类溶剂之一或其两者及两者以上的混合物为介质,在20~150℃温度范围内,在催化剂帮助下进行选择水解反应,来制备聚对羟基苯乙烯及其共聚物,其特征在于:所述选择水解反应的催化剂为高分子催化剂或高分子载体催化剂;所述高分子催化剂为聚苯乙烯磺酸型强酸性离子交换树脂或季胺碱型强碱性离子交换树脂;所述高分子载体催化剂为高分子载体路易斯酸催化剂,其中:载体选择下列六种之一:(1)、聚苯乙烯与二乙烯苯的交联共聚物,其交联程度在1%-10%之间,颗粒大小在20-400目之间;(2)、弱酸或弱碱性离子交换干树脂;(3)、聚三苯基磷;(4)、聚乙烯基咔唑;(5)、聚乙烯基三苯甲基;(6)、聚乙烯基吡咯烷酮;所载路易斯酸选择下列之一:(1)、四氯化钛;(2)、三氯化铝;(3)、四氯化锡;(4)、五氯化锑;(5)、三氟化硼;(6)、三氯化镓;(7)、三氯化铁;(8)、四氯化钛与三乙基铝的二元复合物;路易斯酸的含量相对于载体在0.5%~15%重量范围内。 | ||
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