主权项 |
1.一种盘片真空贴合批次作业装置,其特征在于,主要是于一机台上设置多个作业子机,以完成盘片真空贴合的批次作业,该等作业子机是由下列组成:一第一运输组件以及一第二运输组件;该第一运输组件具有一旋转轴,以及设于该旋转轴上相夹预定角度的三承臂,该三承臂的末端具有一用以承接盘片的承载部;该第二运输组件具有一旋转轴,以及设于该旋转轴上彼此相夹预定角度的二承臂,该二承臂的末端具有一用以承接盘片的承载部;二用以对盘片上胶的点胶机,分别设于该第一、第二运输组件的承载部的移动路径上;一用以将盘片翻面的翻面机,位于该第一运输组件的承载部的移动路径上;一贴合转盘,设于该第一、第二运输组件旁,该贴合转盘上具有偶数的置盘槽,且二对置盘槽位于该第一、第二运输组件的承载部的移动路径上;二真空贴合机,设于该贴合转盘旁,对应于二置盘槽;一第三运输组件,具有一旋转轴,以及设于该旋转轴上的至少一承臂,该承臂的末端具有一承载部,用以承接盘片,该贴合转盘上的一对置盘槽位于该第三运输组件的承载部的移动路径上;一紫外线照射转盘,设于该第三运输组件旁,该紫外线照射转盘具有若干置盘槽,该紫外线照射转盘上的一对置盘槽位于该第三运输组件的承载部的移动路径上;一紫外线照射机,设于该紫外线照射转盘旁,且对应于该紫外线照射转盘上的一置盘槽;由此,利用该等运输组件来达到双盘片批次移载的效果,于紫外线照射胶固后即完成成品。 |