发明名称 | 用于煅烧电子元件的夹具 | ||
摘要 | 一种用于煅烧电子元件的夹具,它包括基材和在基材上形成的氧化锆表面层,其中氧化锆表面层的偏斜度、峭度、中心表面平均粗糙度、耐磨耗性和耐热冲击性之一规定在某一范围内。因此该种用于煅烧电子元件的夹具在不损害要被煅烧的电子元件性质的情况下可以有效地进行煅烧。 | ||
申请公布号 | CN1701051A | 申请公布日期 | 2005.11.23 |
申请号 | CN03825240.6 | 申请日期 | 2003.09.11 |
申请人 | 三井金属矿业株式会社 | 发明人 | 星野和友;梶野仁;打田龙彦;井筒靖久;堀内幸士 |
分类号 | C04B35/64;C04B41/87 | 主分类号 | C04B35/64 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 陈长会 |
主权项 | 1.一种用于煅烧电子元件的夹具,它包括基材和在基材上形成的氧化锆表面层,而且具有5~40μm的算术平均粗糙度“Ra”、或30~130μm的十点平均粗糙度“Rz”或40~200μm的最大高度“Ry”,其特征在于所述氧化锆表面层的偏斜度(偏差)“Rsk”为-0.5~0.5。 | ||
地址 | 日本东京 |