| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING ALQ3 LAYER BY CVD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20050110138(A) |
申请公布日期 |
2005.11.23 |
| 申请号 |
KR20040035025 |
申请日期 |
2004.05.18 |
| 申请人 |
MECHARONICS CO., LTD. |
发明人 |
JANG, HYUK KYOO;KIM, HYUN CHANG |
| 分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
