显示板的检查方法和检查装置以及制造方法

摘要

本发明的目的在于提供一种显示板的检查方法和检查装置以及制造方法，该方法根据被检查物的结构特性决定对表面形状的检查最佳的光学条件，并将决定的条件反映在检查装置中进行高精度的检查、不降低产量、提高合格率并且以高品质制造可靠性高的基板。本发明的显示板的检查方法的特征在于：具有照明手段、摄像手段和信号处理手段，一边使基板或照明手段和摄像手段向与在基板以指定的间隔涂布多条的荧光体层交叉的方向移动，一边进行荧光体层的明暗信号的测定，根据得到的信号测定各荧光体层的涂布量。

主权项

1.一种显示板的检查方法，它是对由基板、以给定的间隔设置在该基板上的多个隔壁、和通过在形成于相邻的上述隔壁之间的沟槽中涂布荧光体而形成的荧光体层构成的显示板的上述荧光体层的形成状态进行检查的显示板的检查方法，其特征在于，具有照明手段、摄像手段、信号处理手段、以及测定上述基板和上述摄像手段之间的相对移动速度的移动速度测定手段，在使上述基板、或上述照明手段和上述摄像手段向与在上述基板上以给定的间隔涂布的多条的上述荧光体层交叉的方向移动的同时，从上述照明手段向上述荧光体层照射波长260nm以下的紫外线，用上述摄像手段拍摄来自该荧光体层的发光，由此进行上述荧光体层的明暗信号的测定，对所得到的信号，利用由上述移动速度测定手段得到的上述相对移动速度进行修正，根据修正的信号，测定上述各荧光体层的上述荧光体的涂布量。