具有动态光瞳填充的剪切干涉仪

摘要

一种包括电磁辐射源的波前测量系统。把所述电磁辐射传送到物平面的照明系统。衍射图案的源在物平面内。投射光学系统把衍射图案投射到像平面，该投射光学系统包括引进横向剪切的机构(如剪切光栅)。检测器置于光学上与投射光学系统的光瞳共轭位置，并从像平面接收剪切波前之间干涉产生的瞬时条纹图案。该衍射图案动态地扫描投射光学系统的光瞳，并把从检测器得到的时间积分干涉图，用于测量整个光瞳上的波前像差。

主权项

1.一种波前测量系统，包括：电磁辐射源；把所述电磁辐射引向物平面的照明系统；在物平面中产生衍射图案的物体；把所述物体的像投射在像平面上的投射光学系统；和从所述像平面接收条纹图案的检测器，其中衍射图案被扫描越过所述投射光学系统的光瞳。