| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR THE AUTOMATIC PRODUCTION OF WAFERS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1420930(B1) |
申请公布日期 |
2005.11.23 |
| 申请号 |
EP20020747131 |
申请日期 |
2002.07.26 |
| 申请人 |
NETSTAL-MASCHINEN AG |
发明人 |
WEINMANN, ROBERT;VOGT, ERIC. |
| 分类号 |
B29C45/23;B29C45/38;B29C45/56;(IPC1-7):B29C45/38 |
主分类号 |
B29C45/23 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
