高频电路冷却装置

摘要

本发明提供一种高频电路冷却装置，其包括：封装容器14，用于容纳高频电路；储气箱16，用于储存将要被导入到该封装容器14的气体；冷端12，用于冷却该封装容器14和该储气箱16；管路24、26，连接于该储气箱16上，用于供应该气体到该储气箱16；管路18、22，可分离地连接在该储气箱16和该封装容器14之间，用于将该储气箱16中的该气体导入到该封装容器14中；以及管路34、36，可分离地连接于该封装容器14，用于排放该封装容器14中的该气体。

主权项

1.一种高频电路冷却装置，包括：封装容器，用于容纳高频电路；储气箱，用于储存将要被导入到该封装容器的气体；冷却单元，用于冷却该封装容器和该储气箱；第一管路，连接于该储气箱上，用于供应该气体到该储气箱；第二管路，可分离地连接在该储气箱和该封装容器之间，用于将该储气箱中的该气体导入到该封装容器中；以及第三管路，可分离地连接于该封装容器，用于排放该封装容器中的该气体。