| 发明名称 | 载物台装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开的载物台装置(10)，其可消除驱动力的反作用力的影响。其具有：固定在地基(12)上的固定基座(14)；支承在固定基座(14)上的基板工作台(16)；跨在基板工作台(16)上方而被横架的可动载物台(18)；向Y方向驱动可动载物台(18)的两端部的一对线性电动机(20A、20B)；使线性电动机(20A、20B)并进驱动的控制装置(23)。在电动机支承部(34A、34B)的支柱部(34A2、34B2)的下端和固定基座(14)之间，设置有滑动机构(35A、35B)。线性电动机(20A、20B)向Y方向驱动可动载物台(18)时，电动机支承部(34A、34B)向与可动载物台(18)的移动方向相反的方向移动。由此，能够不受来自线性电动机(20A、20B)的反作用力影响，高精度地进行可动载物台(18)的驱动控制。 | ||
| 申请公布号 | CN1700438A | 申请公布日期 | 2005.11.23 |
| 申请号 | CN200510072863.0 | 申请日期 | 2005.05.20 |
| 申请人 | 住友重机械工业株式会社 | 发明人 | 富田良幸 |
| 分类号 | H01L21/68;B23Q1/25;B23Q1/60;G05D3/12;H01Q21/00;H04B7/00 | 主分类号 | H01L21/68 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1.一种载物台装置，其特征在于，具有：固定在地基上的固定基座；相对该固定基座可移动地被设置的载物台；对上述载物台施加驱动力的驱动机构；支承上述驱动机构的支承部；控制上述驱动机构以使上述载物台以预定速度移动的控制机构，在上述支承部的下端和上述固定基座或上述地基之间设置了反作用力吸收结构，用于吸收由上述驱动机构的驱动力使上述载物台移动时的反作用力。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||