发明名称 | 用于在大气压下产生低温等离子体的装置 | ||
摘要 | 本发明公开了一种用于在大气压下产生低温等离子体的装置,该装置包括:彼此相对的一对电极,该对电极间开一定距离,它们中的一个与电源相连,另一个接地;一对厚度为25um-10mm的电介质,该对电介质布置在电极的相对表面上,从而彼此相对,它们中的一个内有至少一个放电间隙;以及导体电极,该导体电极有至少一个尖端,该至少一个尖端布置在放电间隙内,其中,通过采用频带为50Hz-10GHz的脉冲直流电或交流电,同时在电极之间供给反应气体,从而由电源在电极之间施加1-100KV/cm的电场强度,以便由放电间隙引起空心阴极放电、毛细管放电或电荷高度积累。本发明能防止等离子体转变成电弧,从而产生稳定、高密度的低温等离子体。 | ||
申请公布号 | CN1228999C | 申请公布日期 | 2005.11.23 |
申请号 | CN02804879.2 | 申请日期 | 2002.02.08 |
申请人 | SE等离子体公司 | 发明人 | 南基锡;李相老;李九铉;罗钟周;金钟国 |
分类号 | H05H1/24 | 主分类号 | H05H1/24 |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 张浩 |
主权项 | 1.一种用于在大气压下产生低温等离子体的装置,包括:彼此相对的一对电极,该对电极间开一定距离,它们中的一个与电源相连,另一个接地;一对电介质,该对电介质的厚度为25μm-10mm,布置在电极的相对表面上,以便彼此相对,在它们中的一个内有至少一个放电间隙;以及导体电极,该导体电极有至少一个尖端,该至少一个尖端布置在放电间隙内,其中,通过采用频带为50Hz-10GHz的脉冲直流电或交流电,同时在电极之间供给反应气体,从而由电源在电极之间施加1-100KV/cm的电场强度。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |