发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR TESTING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100530656(B1) 申请公布日期 2005.11.22
申请号 KR19990002063 申请日期 1999.01.23
申请人 发明人
分类号 H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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