| 主权项 |
1.一种电容器,其系包含:一基板;一固定至该基板的第一导电层;一固定至该第一导电层的一部份之介电层;以及一具有一锚部与一活动部分之第二导电层,该锚部系固定至该介电层,并且该活动部分系偏离于该介电层;其中,当一偏压被施加在该第一导电层与第二导电层之间时,在该活动部分中的静电力系弯曲该活动部分朝向该第一导电层,藉此增加该电容器的电容。2.如申请专利范围第1项之电容器,其更包括一固定至该第一导电层的一部份之释放层;以及其中该活动部分最初系固定至该释放层,但会从该释放层被释放,以变为与该释放层分离,并且其中在该第二导电层之内含应力纵面系将该活动部分偏离于该释放层。3.如申请专利范围第2项之电容器,其中该释放层系包括一种导电材质。4.如申请专利范围第1项之电容器,其中该介电层系实质延伸在该活动部分与该第一导电层之间。5.如申请专利范围第4项之电容器,其中该第一导电层之第一部份的尖端系为渐缩的。6.如申请专利范围第1项之电容器,其中该第二导电层系包括复数个第二导电层,每个第二导电层系包括一锚部与一活动部分,该锚部系固定至该介电层,其中该活动部分最初系固定至该介电层,但会从该介电层被释放,以变为与该介电层分离,并且其中在该第二导电层之内含应力纵面系将该活动部分偏离于该介电层。7.一种用以构成可变电容器的方法,其系包括:于一基板上沉积一第一层导电材质;于该第一导电材质层的一部份上沉积一由电气绝缘材质所构成之释放层;于该释放层的至少一部份上沉积一第二层导电材质;蚀刻该第二层下方的释放层之一部份,以从该释放层释放出该第二层的一活动部分,其中该第二层的一锚部系维持固定于该释放层;其中,该第二层内的内含应力纵面会将该图案化后的第二层之活动部分偏移离于该释放层;其中,当一偏压被施加在该第一导电层与第二导电层之间时,在该活动部分中的静电力系弯曲该活动部分朝向该第一导电层。8.如申请专利范围第7项之方法,其更包括沉积一介电层于该释放层与该第一导电层之间。9.一种用以构成一电感器与电容器的方法,其系包括:于一基板上沉积一第一层导电材质;于该第一导电材质层的一部份上沉积一由电气绝缘材质所构成之释放层;于该释放层的至少一部份上沉积一第二层导电材质;图案化该第二层成为一电容器板层以及一电感器线圈层;蚀刻该第二层下方的释放层之一部份,以从该释放层释放出该电容器板层以及线圈层的一活动部分,其中该电容器板层的一锚部系维持固定于该释放层;其中,该第二层内的内含应力纵面会将该电容器层之活动部分偏移离于该释放层;其中,当一偏压被施加在该第一导电层与第二导电层之间时,在该活动部分中的静电力系弯曲该活动部分朝向该第一导电层;其中,该线圈层内的内含应力纵面会将该线圈层之活动部分偏移离于该基板,此形成一回圈绕线并且使得一活动端接触在该基板上的一点处;并且连接该活动端至该基板。10.如申请专利范围第9项之方法,其更包括并联地连接该线圈与该电容器。11.如申请专利范围第9项之方法,其更包括串联地连接该线圈与该电容器。图式简单说明:图1显示打线接合于基板上的晶片;图2显示垂片接合于基板上的晶片;图3显示焊锡突块接合于该基板上的晶片;图4显示接触于某电子装置的探针卡;图5显示具有一斜角探针之的探针卡;图6为在某一未形变之自由状态下的弹簧接点,以及在当接触于某接点焊垫时既已形变的弹簧接点;图7为不具应力梯度的金属条带;图8为用以决定因应力梯度而生之弹簧接点曲率的模型;图9显示用以决定施于该弹簧接点尖端处上之反应力度的模型;图10-13显示某一构成弹簧接点之方法的诸多步骤;图14为在一溅镀沉积镍-锆合金中的薄膜应力按电浆气体压力函数之图形表示;图15为该弹簧接点之上视图;图16为用以测试诸弹簧接点对之接触电阻的装置;图17为诸弹簧接点对所侦得之电阻的图形表示;图18为弹簧接点之接触电阻按该接点焊垫与该基板间距离为函数的图形表示;图19为具有平坦端之弹簧接点;图20为具有点尖端之弹簧接点;图21为具有两个点t在尖端之弹簧接点;图22为在尖端具有诸多点处之弹簧接点;图23为于尖端具有可变形垂片之弹簧接点;图24为当受压于接点焊垫而具有既已变形垂片之弹簧接点;图25为具有诸多电气接合于某基板之弹簧接点的晶片;图26为接合于一防尘盖,并具有诸多电气接触于某基板之弹簧接点的晶片;图27为接合于某基板,并透过具有防尘盖之晶片上诸多弹簧接点,而得电性接触于某基板之晶片;图28为藉由具有诸多弹簧接点之中介性晶圆而电气接合于某基板的晶片;图29为具有诸多用以测试某电子装置之弹簧接点的探针卡;图30为液晶显示器与一用以测试该显示器运作的装置;图31a和31b为分别按碟状与电磁圈,说明于高频时其电流分布状况之剖视图;图32为沉积于某释放层上之应力梯度薄膜的堆叠剖视图;图33为固定半径线圈结构;图34为一序列固定半径回圈之SEM显微图;图35为由一序列连通回圈所构成之多重转折线圈;图36为以一机械性停止器设置于该第二锚部;图37为如图36之机械性停止器设置方式;图38为对于100m线圈半径之不同弹性构件长度的上视投影图;图39为从各个斜角线圈而构成一多重转折线圈;图40为提供线圈间连接之方法;图41为环状之电磁圈;图42为线圈分接图;图43为简式空气核心变压器;图44为具备间绕有主要及次要绕线之空气核心变压器;图45为具电镀的透磁合金核心之电感器;图46为叠层金属核心;图47a和47b为微型变压器的两个阶段;图48为按变动之弹簧指向而生的不同螺旋节距;图49为由单一螺旋转折线圈所构成之多重转折线圈;图50为螺旋方式接连的多重转折回圈;图51为具有三个不同半径之三段式弹簧图式;图52为利用一负载构件所封闭之线圈;图53横向地接连之单转折回圈;图54a和54b说明两种具有变动性曲率半径的结构;图55为根据本发明之可变电容的剖视图;图56为可变电容相对于弹簧弹昇之图式;图57为具有诸个别电容元件的大型可变电容阵列之上视图;图58沿图57里线段A-A之剖视图;以及图59与图60系描绘一种可调谐的LC电路。 |
