| 主权项 |
1.一种化学倍增式正光阻之组成,该组成包括一多 原子共聚物、一低分子量添加剂、一光酸产生剂 和一溶剂,其特征在于该低分子量添加剂如式(I)或 式(II)所示,且其含量为每100重量份的该多原子共 聚物中含有5至50重份, 其中R1为氢原子、线性或分枝之烷基、单环或多 环之烷基、烷羰基、分枝之烷羰基、1至20个碳之 单环或多环烷羰基,其包括乙醯基、第三级丁基氧 羰基(t-butyl oxycarbonyl group)、环己烷羰基、金刚烷 羰基、降冰片烷甲基羰基; R2为氢原子、羟基、羧酸、烷基、具有烷氧基、 羟基或羧酸之烷基、烷氧基、线性烷基氧羰基( linear alkyl oxycarbonyl)、分枝之烷基氧羰基、烷氧基 烷基羰基、环烷基氧羰基或碳数为1至20之聚环烷 基氧羰基;以及 R3为氢原子、线性或分枝之烷基、1至20个碳之单 环或多环烷基,其包括甲烷基、乙烷基、第三级丁 基、异-丙烷基、金刚烷基、降冰片烷甲基。 2.如申请专利范围第1项所述之化学倍增式正光阻 的组成,其中该低分子量添加剂系选自于下列化合 物所组成之族群 3.如申请专利范围第1项所述之化学倍增式正光阻 的组成,其中该多原子共聚合物如式(III)所示,其中 聚苯乙烯重量换算平均分子量(Mw)为3000~50000,分子 量分布介于1.0 ~3.0, 其中重复的单元X和Y分别代表不同的单体,且系选 自于下式(IV)(V)和(VI)所组成之族群 其中R1、R2、R3如申请专利范围第1项所定义者,且1 、m、n和o分别代表聚合物之重覆单位,其分别为0 ≦1/(1+m+n+o)≦0.5,0≦m/(1+m+n+o)≦0.5,0≦n/(1+m+n+o)≦0. 35,0.4≦o/(1+m+n+o)≦0.6,0.15≦(1+m)/(1+m+n+o)≦0.5。 4.如申请专利范围第1项所述之化学倍增式正光阻 的组成,其中该光酸产生剂系选自于碘盐(iodonium salt)、盐(sulfonium salt)、鏻盐(phosphonium salt)、重 氮盐(diazonium salt)、啶盐(pyridinium salt)所组 成之盐族群,且该酸产生剂的含量为每100重量份 该多原子共聚合物含有0.3-10重量份。 5.如申请专利范围第1项所述之化学倍增式正光阻 的组成,其更包括一硷性添加剂,且每100重量份的 光酸产生剂所含的该硷性添加剂少于50重量份。 |
