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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100529663(B1) 申请公布日期 2005.11.21
申请号 KR20020044737 申请日期 2002.07.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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