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发明名称 ETCHING SOLUTION FOR REMOVING OXIDE FILM, METHOD OF PREPARING THE SAME, AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050109377(A) 申请公布日期 2005.11.21
申请号 KR20040034566 申请日期 2004.05.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 MUN, CHANG SUP;KO, HYUNG HO;SHIM, WOO GWAN;HONG, CHANG KI;CHOI, SANG JUN
分类号 C09K13/08;C23F1/16;H01L21/308;H01L21/311;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):C09K13/08 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
主权项
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