| 发明名称 |
Inrichting voor het meten van een belichtingsintensiteit op een wafel. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL1026824(C2) |
申请公布日期 |
2005.11.21 |
| 申请号 |
NL20041026824 |
申请日期 |
2004.08.11 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
JENSPETER RAU;SILVIO TEUBER |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20;G01N21/17;G03F9/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
