发明名称 Optical inspection system employing a staring array scanner
摘要
申请公布号 IL149587(A) 申请公布日期 2005.11.20
申请号 IL20020149587 申请日期 2002.05.10
申请人 ORBOTECH LTD. 发明人
分类号 G01N21/88;G01N21/956;G02B;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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