DEVICE AND METHOD FOR A COMBINED INTERFEROMETRY AND IMAGE-BASED DETERMINATION OF GEOMETRY, ESPECIALLY FOR USE IN MICROSYSTEMS TECHNOLOGY

摘要

Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist ein Objektiv auf, das in zumindest zwei verschiedenen Messmodi arbeiten kann. In einem ersten Interferenzmodus wird ein Messobjekt interferenzoptisch vermessen. In einem zweiten abbildenden Messmodus wird z.B. auf einem nach Art einer Kamera ausgebildeten Detektorarray ein optisches Bild erzeugt, das einer Bildverarbeitungsroutine zugeführt werden kann. Die Umschaltung zwischen beiden Messmodi erfolgt durch die Art der Beleuchtung des Objekts und ein vorzugsweise im Referenzstrahlengang eines Interferometers angeordnetes Element, das den Referenzstrahlengang in Abhängigkeit von der spektralen Zusammensetzung des verwendeten Lichts aktiviert oder inaktiviert. Dadurch ist eine einfache und schnelle Umschaltung zwischen beiden Messmodi gegeben, ohne dass das Objektiv ausgewechselt oder auch nur bewegt werden müsste. Neben der Schnelligkeit der Umschaltung wird dadurch ein guter Bezug zwischen den interferometrisch gewonnenen und den in der Bildverarbeitung gewonnenen Messdaten ermöglicht, die in ein und demselben Bezugskoordinatensystem gewonnen werden.