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发明名称 Drehzahlsteuerung für ein Vakuumpumpsystem
摘要
申请公布号 DE60300663(T2) 申请公布日期 2005.11.17
申请号 DE2003600663T 申请日期 2003.03.11
申请人 BOC EDWARDS JAPAN LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 NAMIKI, HIROTAKA;OHMORI, HIDEKI
分类号 F04D19/04;F04D25/16;F04D27/02;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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